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      光配向設備 —— LCD Cell段高端屏制造


      SPA255/20

      SPA245/10

      SPA200系列光配向設備主要應用于IPS TFT-LCD高端顯示屏的配向工藝,可替代傳統的摩擦配向設備。該系列設備能滿足4.5代、5代、6代或更高世代產線光配向制程需求。
         產品特征

      ● 優異的光學均勻性

      ● 精確的偏光角控制

      ● 良好的熱控制

      ● 優異的載臺性能

         主要技術參數
      型號 SPA245 SPA255
      波長 254nm/ 313nm/ 365nm 254nm/ 313nm/ 365nm
      偏光角精度 ±0.08° ±0.08°
      照度均勻性 < 5% < 5%
      基板尺寸 730mm×920mm 1100mm×1300mm
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